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熱式氣體質量流量控制器

更新時間：2013-04-20

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熱式氣體質量流量控制器型號；DP-S48 32/HMT

編號	項目	DP-S48 32/HMT
1	流量規格	（10,20,30,50,100,200,300,500）mL/min; （1,2,3,5,10,20,30）L/min
2	調節閥類型	電磁調節閥
3	調節閥靜止狀態	常閉
4	安裝方向	意
5	流量控制范圍	2%-
6	流量測量范圍	（0-100）%
7	零點溫漂	0.6%F.S.（15~35℃）
8	響應時間	2s（T98,設定值的±2%F.S.）
9	作環境溫度	5~50℃
10	度保證溫度	15~35℃
11	度	±1.0%F.S
12	線性	±0.5%F.S
13	重復度	±0.2%F.S
14	作壓差范圍	~5L/min:（0.05-0.3）MPa 10L/min~30L/min:（0.1-0.3）MPa
15	耐壓	3MPa
16	漏率	1×10^-8Pa.m³/s（He）
17	管路接頭	1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
18	供電電源	±15VDC（±5%）＋15V,100mA;－15V, 200mA
19	設定信號	（0-5）VDC 輸入阻抗>1MΩ
20	流量輸出信號	（0-5）VDC 負載輸出電流能力≤3mA
21	電氣接頭	D-SUB15
22	尺寸（mm）	113（寬）×121（）×32（厚）

北京亞歐德鵬科有限公司

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